反滲透工業超純水設備需要進行定期的清洗和維護，尤其是設備中的膜元件，因為膜元件具有微孔細小的特點，如果不進行定期清洗會造成膜污染或堵塞，最終影響純水制取的效果。
反滲透工業超純水設備中膜元件清洗時需注意以下幾個問題：
1、在任何情況下不要讓帶有游離氯的水與復合膜元件接觸，如果發生這種接觸，將會造成膜元件性能下降，而且再也無法恢復其性能，在管路或設備殺菌之后，應確保送反滲透膜元件的給水中無游離氯存在。在無法確定是否有游離氯時，應通過化驗來驗證。應使用亞硫酸氫鈉溶液來中和殘余氯，并確保足夠的接觸時間以保證反應完全。
2、在反滲透膜元件擔保期內，建議每次反滲透膜清洗應在與海德能公司協商后進行，至少在第一次清洗時，海德能公司的現場服務人員應在現場。
3、在清洗溶液中應避免使用陽離子表面活性劑，因為如果使用可能會造成膜元件的不可逆轉的污染。
反滲透膜故障診斷：
1、在正常壓力下如產品水流量降至正常值的10–15%。
2、為了維持正常的產品水流量，經溫度校正后的給水壓力增加了10–15%。
3、產品水質降低10–15%;鹽透過率增加10–15%。
4、使用壓力增加10–15%。
5、RO各段間的壓差增加明顯(也許沒有儀表來監測這一跡象)。
